德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 H-825.G2A

一、H-825.G2A六足位移臺產品特點：

1、30公斤負載能力

2、±27.5毫米直線行程，±11.5度旋轉行程

3、X軸，Y軸，Z軸方向位移0.25微米

4、重復精度±0.1微米/±2微弧度

5、搭載無刷直流電機和編碼器

二、H-825.G2A六足位移臺產品應用領域：

H-825.G2A六足位移臺主要應用領域為科研領域和工業領域，用于微型裝配，生物技術，半導體制造，光學對準。

三、H-825.G2A六足位移臺產品參數：

行程參數：

主動軸：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程：±27.5；±25毫米

Z向上的行程：±14毫米

θX、θY向上的行程：±11.5；±10.5度

θZ向上的行程：±19度

精度參數：

設計分辨率：0.008微米

X、Y和Z向上的位移：0.3；0.3；0.25微米

θX、θY、θZ向上的位移：3.5；3.5；4微弧度

X、Y向上的空回：3微米

Z向上的空回：1微米

θX、θY向上的空回：20微弧度

θZ向上的空回：25微弧度

X、Y向上的重復精度：±0.5；±0.25微米

Z向上的重復精度：±0.1微米

θX、θY向上的重復精度：±2微弧度

θZ向上的重復精度：±2.5微弧度

X、Y和Z向上的速度：2.5毫米/秒

θX、θY和θZ向上的速度：27毫弧度/秒

X、Y和Z向上的典型速度：2毫米/秒

θX、θY和θZ向上的典型速度：5.5毫弧度/秒

負載參數：

負載能力（底板為水平方向/任意方向）：30/10千克

保持力，斷電（底板為水平方向/任意方向）：300/150牛

其他參數：

工作溫度范圍：-10到50攝氏度

質量：10千克

電機類型：無刷直流電機

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